山村研究室YAMAMURA LAB.

nanoManufacturing Science Lab., Dept. of Precision Science and Technology

大阪大学大学院工学研究科
附属精密工学研究センター
ナノ製造科学領域　山村研究室
　

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研究内容

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MEMBER
メンバー紹介

教授 山村 和也

恩師の生きざまである『常識への挑戦』をモットーに、新しい物理化学加工プロセスの開発を“夢中”になって取組んでいます。自他ともに認めるせっかちな性格で、はまったら“極端”と言われます。

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Kazuya YAMAMURA

教授 山村 和也

恩師の生きざまである『常識への挑戦』をモットーに、新しい物理化学加工プロセスの開発を“夢中”になって取組んでいます。自他ともに認めるせっかちな性格で、はまったら“極端”と言われます。

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FACILITY
研究設備

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数値制御プラズマCVM装置 局所的に発生させた大気圧プラズマを用いたエッチング装置です。ワークテーブルの数値制御走査によりナノメータ精度の形状加工ができます。
プラズマ援用研磨装置 プラズマの照射による表面改質と軟質砥粒による改質層の除去により、3インチサイズのSiC, GaN, サファイアウエハを高能率かつダメージフリーにドライ研磨できます。
表面処理一体型・電気特性測定装置 超高真空雰囲気下で、半導体表面に吸着するガス分子の量を分子層レベルで制御することができます。また、その上にデバイス構造を構築することにより、吸着したガス分子が電子デバイスに与える影響を明らかにします。
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RESEARCH
RESULTS
研究業績

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ACCESS
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〒565-0871

大阪府吹田市山田丘2-1
大阪大学吹田キャンパス内大学院工学研究科
物理学系専攻　精密工学コース
M1棟4階426,427号室
※センテラス（ファミール）の向かいです

Phone： 06-6879-7294

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