nanoManufacturing Science Lab., Dept. of Precision Science and Technology

大阪大学大学院工学研究科
精密科学・応用物理学専攻 精密科学講座
ナノ製造科学領域 山村研究室

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ものづくり技術のイノベーション

有史以来文明は、ものづくり技術のたゆまない発展とともに進化してきました。ナノ製造科学領域ではナノ、サブナノメータオーダの精度が要求される最先端の光学素子、半導体基板、MEMS・NEMSデバイスを作製する革新的なものづくり技術を創出します。我々の新しい技術が21世紀における新たな産業革命の引き金となって人類のさらなる発展に貢献することを理念とし、極限的な精度を工業的に有用な能率で得ることを可能にする、

に関する研究・開発を教員、学生、企業が一丸となって夢中で取り組んでいます。

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山村研究室YAMAMURA LAB.

MEMBER
メンバー紹介

教授 山村 和也

恩師の生きざまである『常識への挑戦』をモットーに、新しい物理化学加工プロセスの開発を“夢中”になって取組んでいます。自他ともに認めるせっかちな性格で、はまったら“極端”と言われます。

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Kazuya YAMAMURA

教授 山村 和也

恩師の生きざまである『常識への挑戦』をモットーに、新しい物理化学加工プロセスの開発を“夢中”になって取組んでいます。自他ともに認めるせっかちな性格で、はまったら“極端”と言われます。

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数値制御プラズマCVM装置 局所的に発生させた大気圧プラズマを用いたエッチング装置です。ワークテーブルの数値制御走査によりナノメータ精度の形状加工ができます。
プラズマ援用研磨装置 プラズマの照射による表面改質と軟質砥粒による改質層の除去により、3インチサイズのSiC, GaN, サファイアウエハを高能率かつダメージフリーにドライ研磨できます。
表面処理一体型・電気特性測定装置 超高真空雰囲気下で、半導体表面に吸着するガス分子の量を分子層レベルで制御することができます。また、その上にデバイス構造を構築することにより、吸着したガス分子が電子デバイスに与える影響を明らかにします。
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RESERCH
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研究業績

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ACCESS
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〒565-0871

大阪府吹田市山田丘2-1
大阪大学吹田キャンパス内大学院工学研究科
精密科学・応用物理学専攻 精密科学講座
M1棟4階426,427号室
※センテラス(ファミール)の向かいです

Phone: 06-6879-7274

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