2020.09.07

9月1日～7日にオンライン開催された2020年度精密工学会秋季大会学術講演会にて、当研究室の学生8人が研究発表を行いました。

当研究室より下記の研究発表を行いました。
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/

楊旭（特任助教）：
電気化学機械研磨によるSiCの高能率スラリーレス加工法の開発(第6報)
－浅い歪場の形成による研磨レートの向上－
孫栄硯（D2、JSPS DC1）：
プラズマ援用研磨法の開発（第20報）
—焼結AlN基板の脱粒フリー研磨—
鈴木蓮（M2）：
誘導結合プラズマを用いた多結晶ダイヤモンドのエッチング特性
三栗野諒（M2）：
アンモニア還元グラフェンを援用した化学エッチング法—Ge表面上へのトレンチ構造の形成—
李君寰（M2）：
グラファイト上に形成した微小なグラフェンシートの原子レベルSTM観察
吉鷹直也（M1）：
プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー加工（第1報）
—20mm角基板の研磨特性の評価—
山本有悟（M1）：
中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製（第9報）
—プラズマCVM加工後の形状および表面粗さの評価—
馬智達（M1）：
Agナノワイヤ援用型化学エッチングによるSi(111)表面上へのナノ溝形成

参加されたみなさまお疲れ様でした！