2020.03.17

3月17日～19日に東京農工大学で開催予定の2020年度精密工学会春季大会学術講演会は新型コロナウイルス感染症拡大防止に伴い中止されましたが、投稿した学会論文は学術的成果として承認され、学術講演会講演論文集に収録されました。

当研究室からは下記の研究発表を行いました。
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/

楊旭（特任助教）：
電気化学機械研磨による SiC の高能率スラリーレス加工法の開発(第4報)
－4H-SiC（0001）スライス面のスラリーレス電気化学機械研磨－

楊旭（特任助教）：
電気化学機械研磨による SiC の高能率スラリーレス加工法の開発(第5報)
－表面粗さを低減させる電位条件の基礎検討－

孫栄硯（D1、JSPS DC1）：
プラズマ援用研磨法の開発（第19報）
－AlN基板の研磨特性の評価－

荒川翔平（M2）：
中性子集光用高精度Wolterミラーマンドレルの作製（第8報）
－PCVM加工における試料表面温度の変化を考慮したマンドレルの形状修正－

越智諒（M1）：
プラズマ酸化を援用した低欠陥グラフェン/SiC構造の形成
－ラマンスペクトルに基づくグラフェン移動度の考察－

鈴木蓮（M1）：
プラズマを援用したダイヤモンド基板の高精度加工（第2報）
－単位加工痕のガス組成，加工ギャップ依存性－

杉田祥吾（B4）：
アルコールCVDグラフェン自立膜上へのヘリウムイオンビーム顕微鏡（HIM）を用いたナノポア形成

山本有悟（B4）：
数値制御プラズマCVMによる石英製中性子顕微鏡用Wolter Iマンドレルの高精度加工

小笠原歩見（B4）：
化学エッチングを利用した燃料電池用ナノカーボン触媒の単一レベル活性評価

吉鷹直也（B4）：
プラズマ援用研磨による大面積単結晶ダイヤモンド基板のダメージフリー加工

馬智達（研究生）：
Agナノワイヤを触媒とした化学加工による微傾斜Si表面上へのナノ溝形成

山村研究室YAMAMURA LAB.