2021.09.01

9月1日～3日にオンライン開催された2021年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2021)にて、当研究室の5人が研究発表を行いました。

当研究室より下記の研究発表を行いました。
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/

楊旭（特任助教）：
4H-SiC(0001)のスラリーレス電気化学機械研磨に関する研究－砥石材質と研磨特性の相関－
孫栄硯（D3、JSPS DC1）：
ビトリファイドボンド砥石とフッ素系プラズマを用いたドレスフリー研磨法の開発
陶通（M1）：
窒化アルミニウムセラミックス材のプラズマ援用研磨に関する研究－異なる粒径のビトリファイドボンドダイヤモンド砥石を用いたAlN基板の研磨特性－
谷海洋（M1）：
SiCウエハの超音波援用スラリーレス電気化学機械研磨に関する研究－研磨パラメータと砥石形状の最適化－
杉本健太郎（M1）：
プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究（第1報）
－研磨レートおよび表面性状の研磨プレート材質依存性－

みなさま発表おつかれさまでした！