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- 9月21日~27日にオンライン開催された2021年度精密工学会秋季大会学術講演会にて、孫栄硯君(D3、JSPS DC1)と梶本君(M1)がベストプレゼンテーション賞を受賞しました!
2021.12.21
9月21日~27日にオンライン開催された2021年度精密工学会秋季大会学術講演会にて、孫栄硯君(D3、JSPS DC1)と梶本君(M1)がベストプレゼンテーション賞を受賞しました!
9月21日~27日にオンライン開催された2021年度精密工学会秋季大会学術講演会にて、孫栄硯君(D3、JSPS DC1)と梶本君(M1)がベストプレゼンテーション賞を受賞しました!(328件発表のうち、上位34件)
https://www.jspe.or.jp/wp/wp-content/uploads/jspe_meeting/BP.pdf
https://www.jspe.or.jp/wp/wp-content/uploads/jspe_meeting/BP.pdf
孫栄硯,陶通,川合健太郎,有馬健太,山村和也
プラズマ援用研磨法の開発(第22報)
-フッ素系ガスを用いたプラズマ援用研磨における砥石成分の付着抑制-
-フッ素系ガスを用いたプラズマ援用研磨における砥石成分の付着抑制-
梶本稜有,越智諒,川合健太郎,山村和也,有馬健太
プラズマ酸化を援用した低欠陥グラフェンの転写プロセスに関する研究
-Niスパッタ膜形成時の基板加熱が転写特性に与える影響の解明-
おめでとうございます!
-Niスパッタ膜形成時の基板加熱が転写特性に与える影響の解明-
おめでとうございます!