2023.03.14
3月14日～16日に東京理科大学葛飾キャンパスで開催された2023年度精密工学会春季大会学術講演会にて、当研究室の8人が研究発表を行いました。
3月14日～16日に東京理科大学葛飾キャンパスで開催された2023年度精密工学会春季大会学術講演会にて、当研究室より下記の研究発表を行いました。
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/
李君寰（D2）:
グラフェンナノシート上に現れる特異な電子状態の STM 観察－グラフェンナノリボンの第一原理計算に基づく起源の考察－
Dong Jiayuan（D1）:
プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究（第 2 報）－2 inch多結晶ダイヤモンド基板に対する研磨圧力が表面粗さにおよぼす影響について－
曹健傑（M2）:
電 気 化 学 機 械 研 磨による SiC の高能率スラリーレス加工 法 の 開 発（ 第 10報）－パルス幅変調電圧の印加により4H-SiC(0001) の研磨レートの向上－
木下亮祐（M1）:
電気化学機械研磨による SiC の高能率スラリーレス加工法の開発（第 9 報）－電解液の液性における4H-SiC(0001) の 酸化特性の評価－
橋本龍人（B4）:
全ウエットプロセスによるSi原子層シートの創製に関する研究－ウェットエッチングによるSOI層表面の構造制御－（卒業研究発表講演会）
大西雄也（B4）:
固定砥粒を用いたGaNウエハの高能率一貫加工プロセスの構築－ラップ加工で導入された加工変質層のプラズマ表面改質－（卒業研究発表講演会）
杉原聡太（B4）:
多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究－プラズマ援用研磨における前加工としてのレーザトリミング－（卒業研究発表講演会）
山本聖也（B4）:
ナノカーボンの触媒作用を援用した半導体表面の選択領域加工－エッチング液に添加した酸化剤が加工特性に与える影響－（卒業研究発表講演会）
皆さん、発表お疲れ様でした。
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/
李君寰（D2）:
グラフェンナノシート上に現れる特異な電子状態の STM 観察－グラフェンナノリボンの第一原理計算に基づく起源の考察－
Dong Jiayuan（D1）:
プラズマ援用研磨による多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究（第 2 報）－2 inch多結晶ダイヤモンド基板に対する研磨圧力が表面粗さにおよぼす影響について－
曹健傑（M2）:
電 気 化 学 機 械 研 磨による SiC の高能率スラリーレス加工 法 の 開 発（ 第 10報）－パルス幅変調電圧の印加により4H-SiC(0001) の研磨レートの向上－
木下亮祐（M1）:
電気化学機械研磨による SiC の高能率スラリーレス加工法の開発（第 9 報）－電解液の液性における4H-SiC(0001) の 酸化特性の評価－
橋本龍人（B4）:
全ウエットプロセスによるSi原子層シートの創製に関する研究－ウェットエッチングによるSOI層表面の構造制御－（卒業研究発表講演会）
大西雄也（B4）:
固定砥粒を用いたGaNウエハの高能率一貫加工プロセスの構築－ラップ加工で導入された加工変質層のプラズマ表面改質－（卒業研究発表講演会）
杉原聡太（B4）:
多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究－プラズマ援用研磨における前加工としてのレーザトリミング－（卒業研究発表講演会）
山本聖也（B4）:
ナノカーボンの触媒作用を援用した半導体表面の選択領域加工－エッチング液に添加した酸化剤が加工特性に与える影響－（卒業研究発表講演会）
皆さん、発表お疲れ様でした。
