2023.03.06

劉念君（博士後期課程修了生、元JSPS DC2）が第一著者の「レーザトリミングとプラズマ援用研磨の複合プロセスによる大面積単結晶ダイヤモンド基板の高能率仕上げ」に関する国際共著論文がCeramics International誌に掲載されました。

　CVD成長によって作製したダイヤモンド基板には成膜ムラによって大きなうねり成分が存在する場合が多いですが、そのような基板をそのまま研磨すると平坦化に多大な時間を要してしまいます。本論文では、レーザトリミングによる研磨前処理とプラズマ援用研磨を複合することで、ダイヤモンド基板を高能率に平坦化・平滑化するプロセスを新たに提案しています。本プロセスでは加工対象基板の形状を測定し、測定データに基づいて低空間周波数のうねり成分のみをレーザ加工により除去することで平坦化し、続けてプラズマ援用研磨により平滑化することで高能率に高精度な基板を得ることができます。
　CVD成長させた20 mm角のモザイク単結晶ダイヤモンド基板に対して提案した複合プロセスを適用することで、1μm以下の平面度とSq 0.53 nmの表面粗さを34hで得ることができました。
　以上の結果はCeramics International誌に掲載されました。

N. Liu, K. Sugimoto, N. Yoshitaka, H. Yamada, R. Sun, K. Arima, K. Yamamura
Highly efficient finishing of large-sized single crystal diamond substrates by combining nanosecond pulsed laser trimming and plasma-assisted polishing
Ceramics International 49 (2023) 19109–19123.

https://www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0272884223005989