2023.06.23

6月23日にリーガロイヤルホテル京都で開催された精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会にて、当研究室の5人が研究発表を行いました。

6月23日にリーガロイヤルホテル京都で開催された精密工学会2023年度関西地方定期学術講演会にて、当研究室より下記の研究発表を行いました。
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/

董佳遠（D1）：
多結晶ダイヤモンド基板のプラズマ援用研磨における結晶面方位と表面モフォロジーの相関

木下亮祐（M2）：
電気化学機械研磨による4H-SiCのファセット部における段差形成の原因調査

杉原聡太（M1）：
多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究－レーザトリミングの適用によるプラズマ援用研磨時間の短縮－

大西雄也（M1）：
水蒸気プラズマを用いたGaNウエハの表面改質

能登樹（M1）：
プラズマ CVM における基板支持方法が加工レートにもたらす影響

皆さん、発表お疲れ様でした！