2023.09.15

9月13日～15日に福岡工業大学で開催された2023年度精密工学会秋季大会学術講演会にて、当研究室の4人が研究発表を行いました。

9月13日～15日に福岡工業大学で開催された2023年度精密工学会秋季大会学術講演会にて、当研究室より下記の研究発表を行いました。
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/


曹健傑（M2）：
難加工材料に対するスラリーレス超音波援用電気化学機械研磨法の開発（第4報）
－4インチSiCウエハに対する研磨パラメータの最適化－

木下亮祐（M2）：
電気化学機械研磨におけるSiCの高能率スラリーレス加工法の開発（第11報）
－KOH 電解液の濃度変化による4H-SiC(0001)の酸化特性の解明－

能登樹（M1）：
プラズマCVMにおけるキャリアガス流量が加工に及ぼす影響

 
杉原聡太（M1）：
多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究（第3報）
－レーザトリミング効果の検証とプラズマ援用研磨後の結晶性評価－

皆さん、発表お疲れ様でした。