6月21日に立命館大学大阪いばらきキャンパスで開催された精密工学会2024年度関西地方定期学術講演会にて、当研究室の3人が研究発表を行いました。

6月21日に立命館大学大阪いばらきキャンパスで開催された精密工学会2024年度関西地方定期学術講演会にて、当研究室より下記の研究発表を行いました。
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/

大西雄也（M2）：

紫外光照射を援用した窒化ガリウム基板のスラリーレスECMPプロセスに使用する光源の検討