2024.09.04
9月4日～6日に岡山大学津島キャンパスで開催された2024年度精密工学会秋季大会学術講演会にて、当研究室の2人が研究発表を行いました。
9月4日～6日に岡山大学津島キャンパスで開催された2024年度精密工学会秋季大会学術講演会にて、当研究室より下記の研究発表を行いました。
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/
杉原聡太（M2）：
多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究(第5報)－プラズマ援用研磨における加工能率とプラズマ生成条件の相関－
能登樹（M2）：
プラズマ CVM による積層 SiC セラミックスへの高精度表面形状創成－前工程における固定砥粒定盤を用いたラップ加工特性－
発表、お疲れ様でした。
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/
杉原聡太（M2）：
多結晶ダイヤモンド基板の低コスト・高能率平坦化に関する研究(第5報)－プラズマ援用研磨における加工能率とプラズマ生成条件の相関－
能登樹（M2）：
プラズマ CVM による積層 SiC セラミックスへの高精度表面形状創成－前工程における固定砥粒定盤を用いたラップ加工特性－
発表、お疲れ様でした。
