2025.03.17
3月17日～19日に千葉工業大学津田沼キャンパスで開催された2025年度精密工学会春季大会学術講演会にて、当研究室の5人が研究発表を行いました。
3月17日～19日に千葉工業大学津田沼キャンパスで開催された2025年度精密工学会春季大会学術講演会にて、当研究室より下記の研究発表を行いました。
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/
董佳遠（D3）：
プラズマ援用研磨によるダイヤモンド表面仕上げにおける石英研磨プレートとシリコン研磨プレートの比較
大西雄也（M2）：
金子蒼（M1）：
藤原歌文（B4）：
プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の原子レベルでの平滑化－小型集積レーザの性能向上を目指したダイヤモンドの冷却基板への応用－
黒川壮梧（B4）：
プラズマCVMによる積層SiCセラミックスの高精度表面形状創成(第3報)－数値制御加工における基板表面温度補正の検討－
皆さん、発表お疲れ様でした！
今回の懇親会は、「もんじゃ」です！
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/
董佳遠（D3）：
プラズマ援用研磨によるダイヤモンド表面仕上げにおける石英研磨プレートとシリコン研磨プレートの比較
大西雄也（M2）：
砥石定盤の表面状態の変化と加工速度の関係
金子蒼（M1）：
電気化学機械研磨における SiC の高能率スラリーレス加工法の開発(第12報)－KOH 電解液を用いた4H-SiC(0001)の研磨特性調査－
藤原歌文（B4）：
プラズマ援用研磨による単結晶ダイヤモンド基板の原子レベルでの平滑化－小型集積レーザの性能向上を目指したダイヤモンドの冷却基板への応用－
黒川壮梧（B4）：
プラズマCVMによる積層SiCセラミックスの高精度表面形状創成(第3報)－数値制御加工における基板表面温度補正の検討－
皆さん、発表お疲れ様でした！
今回の懇親会は、「もんじゃ」です！
