6月25日に関西大学千里山キャンパスで開催された精密工学会2025年度関西地方定期学術講演会にて、当研究室より下記の研究発表を行いました。

http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/

董佳遠（D3）：
多結晶ダイヤモンド基板のプラズマ援用研磨におけるラジカル密度と研磨特性の相関

大西雄也（D1）：
砥石定盤を用いた窒化ガリウム基板のラップ加工における砥石表面の微視的な構造変化

金子蒼（M2）：
電気化学機械研磨における SiC の高能率スラリーレス加工法の開発－砥石定盤形状と加工特性の相関－

皆さん、発表お疲れ様でした！