2025.09.19
9月17日~19日に京都大学吉田キャンパスで開催された2025年度精密工学会秋季大会学術講演会にて、当研究室の2人が研究発表を行いました。
9月17日~19日に京都大学吉田キャンパスで開催された2025年度精密工学会秋季大会学術講演会にて、当研究室より下記の研究発表を行いました。
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/
大西雄也(D1):
電気化学機械研磨によるGaNの高能率スラリーレス加工法の開発
-陽極酸化特性の電流密度依存性-
居松正悟(B4):
多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第6報)
-プラズマ援用研磨における研磨特性の面方位依存性調査-
発表、お疲れ様でした!
http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/
大西雄也(D1):
電気化学機械研磨によるGaNの高能率スラリーレス加工法の開発
-陽極酸化特性の電流密度依存性-
居松正悟(B4):
多結晶ダイヤモンド基板の高能率ダメージフリー平坦・平滑化に関する研究(第6報)
-プラズマ援用研磨における研磨特性の面方位依存性調査-
発表、お疲れ様でした!