2026.03.17

3月17日~19日に埼玉大学で開催された2026年度精密工学会春季大会学術講演会にて、当研究室の4人が研究発表を行いました。

3月17日~19日に埼玉大学で開催された2026年度精密工学会春季大会学術講演会にて、当研究室より下記の研究発表を行いました。

http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/

孫栄硯　助教：
プラズマ自己停止改質を援用したAlNセラミックスのサブナノレベル研磨プロセス

大西雄也（D1）：
GaN基板への高能率スラリーレス加工法の開発－光電気化学反応における酸化挙動のキャリア依存性－
 
居松正悟（B4）：
単結晶ダイヤモンド基板のプラズマ援用研磨特性における研磨プレート材質依存性の調査
 
森下浩彰（B4）：
プラズマ援用研磨によるダイヤモンド基板の高能率平滑化に関する研究－プロセスガス組成比が材料除去率に及ぼす影響－

皆さん、発表お疲れ様でした！