本論文では、ナノ秒パルスレーザ加工後のダイヤモンド表面に形成される熱影響層（HAZ）に着目し、その微細構造、結晶性、残留応力、機械特性、およびプラズマ援用研磨（PAP）における除去特性について体系的に調査しました。解析の結果、HAZは損傷層、遷移層、およびバルク層の3領域から構成され、表層では結晶性の低下と引張残留応力の存在が確認されました。また、HAZ表面の硬さは健全なダイヤモンド表面と比較して大きく低下しており、脆性的な性質を示すことが明らかとなりました。
　さらに、PAPにより損傷層を除去すると、表面結晶性は速やかに回復し、最終的には高結晶性かつ無応力なダイヤモンド表面が得られることを示しました。これらの結果は、レーザによる高能率な形状創成とPAPによる高品位仕上げを組み合わせた、高効率・高品質なダイヤモンド精密加工プロセスの確立に貢献できる。