6月19日に神戸大学百年記念館で開催された精密工学会2026年度関西地方定期学術講演会にて、当研究室より下記の研究発表を行いました。

http://www-nms.prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/

筒井正彦（M1）：
スラリーレス電気化学機械研磨によるSiC(000-1)面の高能率加工プロセスの開発
－SiC(0001)面と(000-1)面における酸化膜成長過程の評価－

森下浩彰（M1）：
プラズマ援用研磨を用いたダイヤモンド基板の高能率平滑化に関する研究
－酸素ラジカル生成量と材料除去率の相関－

周桀（M1）：
大気圧プラズマCVM加工における蓄積熱を考慮した局所温度補償アルゴリズムの開発

皆さん、発表お疲れ様でした！