2026.08.31
8月31日~9月2日に東北学院大学五橋キャンパスで開催された2026年度砥粒加工学会学術講演会にて、当研究室の孫栄硯助教が研究発表を行いました。
8月31日~9月2日に東北学院大学五橋キャンパスで開催された2026年度砥粒加工学会学術講演会にて、当研究室の孫栄硯助教が研究発表を行いました。
https://nms-prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/
孫栄硯(助教):
プラズマ自己停止改質に基づくGaNウエハのダメージフリー仕上げ研磨
発表、お疲れさまでした。
https://nms-prec.eng.osaka-u.ac.jp/results/
孫栄硯(助教):
プラズマ自己停止改質に基づくGaNウエハのダメージフリー仕上げ研磨
発表、お疲れさまでした。