HOME お知らせ 9月15日~17日に東北大学川内キャンパスで開催された2026年度精密工学会秋季大会学術講演会にて、当研究室の筒井正彦君(M1)が受賞しました。 2026.09.15 9月15日~17日に東北大学川内キャンパスで開催された2026年度精密工学会秋季大会学術講演会にて、当研究室の筒井正彦君(M1)が受賞しました。 9月15日~17日に東北大学川内キャンパスで開催された2026年度精密工学会秋季大会学術講演会にて、当研究室の筒井正彦君(M1)が【企業賞】(株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ賞)を受賞しました。 筒井正彦,孫栄硯,大久保雄司,山村和也 電気化学機械研磨におけるSiCの高能率スラリーレス加工法の開発(第13報) -同一条件下における(0001)面および(000–1)面の酸化膜質の差異- おめでとうございます!