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Figuring ナノ精度で形を創る

by Plasma CVM
(Chemical Vaporization Machining)

・大気圧プラズマの適用により、エッチングレート大

・化学的に気化させて除去するため、ダメージフリー

・電極損耗が無く、再現性と安定性に優れる

・非接触加工であるため、振動、熱変形等の影響を受けない→脱母性原理

・Si, SiO2, SiC, Si3N4, ダイヤモンド, etc.の加工が可能

プラズマCVMの原理

＜数値制御プラズマCVM加工の流れ＞

step1形状計測

step2プラズマ照射時間分布の計算

step3形状修正加工

step4ナノメータオーダの形状精度

局在プラズマの数値制御走査により形状修正を行い、トライアンドエラーなしに決定論的にナノ精度の目的形状が得られる

水晶ウエハの厚さムラ修正例