半導体に対する新しい触媒援用ナノ表面プロセスの開発
グラフェンシートを触媒とした新しいエッチング法
グラフェンシートの電子状態を反映したSTM画像
安価かつ高濃度薬液による後洗浄を必要としない触媒材料としての特性を活かし、ナノレベルの表面創成プロセスへの展開を目指します。
金属触媒プローブによる半導体表面の局所的な化学加工法
グラフェンシートを触媒とした新しいエッチング法
グラフェンシートの電子状態を反映したSTM画像
安価かつ高濃度薬液による後洗浄を必要としない触媒材料としての特性を活かし、ナノレベルの表面創成プロセスへの展開を目指します。
金属触媒プローブによる半導体表面の局所的な化学加工法