前のページに戻る

固体表面における水分子吸着特性（濡れ特性）の
極限計測と応用

ガス分子と反応性を持つ酸化膜表面に対して、

・放射光をプローブとして“その場”観察

・その上に直接構築したデバイスの電気特性測定

を行います。このような計測を通して、より優れたデバイスプロセスのデザインを目指します。

固体表面上の液滴の静電気力顕微鏡観察

水と接触した半導体表面の
原子構造変化のFTIR観測