Figuring ナノ精度で形を創る
by Plasma CVM
(Chemical Vaporization Machining)
・大気圧プラズマの適用により、エッチングレート大
・化学的に気化させて除去するため、ダメージフリー
・電極損耗が無く、再現性と安定性に優れる
・非接触加工であるため、振動、熱変形等の影響を受けない→脱母性原理
・Si, SiO2, SiC, Si3N4, ダイヤモンド, etc.の加工が可能
プラズマCVMの原理
＜数値制御プラズマCVM加工の流れ＞
局在プラズマの数値制御走査により形状修正を行い、トライアンドエラーなしに決定論的にナノ精度の目的形状が得られる
水晶ウエハの厚さムラ修正例
