山村研究室YAMAMURA LAB.

Finishing ダメージ無しに表面を磨く【特許第5614677号】

by Plasma Assisted Polishing (PAP)

・硬脆材料の表面をプラズマ照射により軟化改質し、改質層を軟質砥粒で除去するため、ダメージフリー

・消耗部材が少なく、低ランニングコスト

・ドライ加工のためエッチピットが形成されない

・CMPと比較して装置が簡便

・SiC, GaN, AlN, ダイヤモンド, サファイア, etc.の研磨が可能

4H-SiC (0001)

GaN (0001)